氣體檢測經(jīng)常遇到流量很小的情況，這樣就屬于微流量檢測，例如測量氣體氧含量的微量測量，1PPM、10PPM、100PPM等情況下，屬于微流量檢測，我們通常采用的是微量氧分析儀和電化學氧分析儀等在線測量。

微流量檢測器是一種利用敏感元件的熱敏特性測量微小氣體流量變化的新型檢測器。其傳感元件是兩個微型熱絲電阻，和另外兩個輔助電阻組成惠斯通電橋。熱絲電阻通電加熱至一定溫度，當有氣體流過時，帶走部分熱量使熱絲元件冷卻，電阻變化，通過電橋轉變成電壓信號。

微流量傳感器中的熱絲元件有兩種，一種是柵狀鎳絲電阻，簡稱鎳格柵，它是把很細的鎳絲編織成柵欄狀制成的。這種鎳格柵垂直裝配于氣流通道中，微氣流從格柵中間穿過。另一種是鉑絲電阻，在云母片上用超微技術光刻上很細的鉑絲制成。這種鉑絲電阻平行裝配于氣流通道中，微氣流從其表面掠過。這種微流量檢測器實際上是一種微型熱式質量流量計，它的體積很?。ü饪蹄K絲電阻的云母片只有約3 mm×3 mm，毛細管氣流通道內(nèi)徑僅為0.2~0.5 mm），靈敏度*，精度優(yōu)于±1%，價格也較便宜。采用微流量檢測器替代薄膜電容檢測器，可使紅外分析器光學系統(tǒng)的體積大為縮小，可靠性、耐振性等性能提高，因而在紅外、氧分析儀等儀器中得到了較廣應用。